Vacuum Components mei hege temperatuer
Heatbehandeling omfettet benammen oksidaasje-, diffúsje- en annealingprosessen.Oxidaasje is in additive proses wêryn silisiumwafels yn in hege temperatuerofen pleatst wurde en soerstof wurdt tafoege om mei har te reagearjen om silika te foarmjen op it oerflak fan 'e wafel.Diffusion is te ferpleatsen stoffen út de hege konsintraasje gebiet nei de lege konsintraasje regio troch molekulêre termyske beweging, en de diffusion proses kin brûkt wurde om dope spesifike doping stoffen yn de silisium substraat, dêrmei feroarjen fan de conductivity fan semiconductors.